ذاكرة التخزين المؤقتة (كاش) تلعب دورًا حاسمًا في أنظمة الحوسبة الحديثة من خلال توفير وصول سريع إلى البيانات التي يتم التعامل معها بشكل متكرر. ومع ذلك، فإن موثوقية ذاكرة الكاش تعد أمرًا بالغ الأهمية لضمان سلامة البيانات واستقرار النظام. يقدم هذا البحث نهجًا جديدًا يسمى "ذاكرة الكاش ذات الفحص الذاتي"، والذي يهدف إلى تعزيز موثوقية وقدرات كشف الأخطاء العشوائية في أنظمة التخزين المؤقتة. تعتمد آلية الفحص الذاتي المقترحة على دمج شفرات كشف الأخطاء ضمن معمارية ذاكرة الكاش، من خلال إدراج شفرة لكشف الأخطاء، يمكن لذاكرة الكاش ذات التفحص الذاتي تحديد والإبلاغ عن الأخطاء التي قد تحدث أثناء عمليات استرجاع البيانات أو تخزينها. في هذا البحث تم اختيار شفرة بيرجر لفعاليتها في كشف الأخطاء. تتيح هذه الطريقة الكشف الفعّال عن الأخطاء دون المساس بأداء نظام ذاكرة الكاش. تم استخدام لغة VHDL للتحقق من نظام الفحص الذاتي لذاكرة الكاش. تظهر النتائج التجريبية أن تصميم ذاكرة الكاش ذات الفحص الذاتي يتفوّق على أنظمة ذاكرة الكاش التقليدية في قدرته على كشف الأخطاء وموثوقيته.